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Ausschreibung: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Hannover
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 497812-2017 (ID: 2017121409091383920)
Veröffentlicht: 14.12.2017
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  DE-Hannover: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
   2017/S 240/2017 497812
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Laser Zentrum Hannover e. V.
   Hollerithallee 8
   Hannover
   30419
   Deutschland
   Kontaktstelle(n): Dr. Lars Jensen
   Telefon: +49 5112788-257
   E-Mail: [1]l.jensen@lzh.de
   NUTS-Code: DE92
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]www.lzh.de
   I.2)Gemeinsame Beschaffung
   Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [3]https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [4]https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: Eingetragener Verein
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Forschung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Installation ALD-Hybrid Beschichtungsanlage
   Referenznummer der Bekanntmachung: LZH-13017-2017-02
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   38000000
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Es ist das Ziel, den Atomic Layer Deposition (ALD) Beschichtungsprozess
   mit einem zweiten Schichtwachstumsprozess der PVD-Kategorie (Physical
   Vapor Deposition) zu kombinieren. Zu diesem Zweck solle ein
   vollausgestatteter ALD Prozess, inkl. eines thermischen und
   plasmaaktivierten ALD, in ein Clustertool integriert werden. Zusätzlich
   zur ALD Prozesskammer soll das Clustertool ein Load-Lock-System
   beinhalten, eine automatisierte Transfereinheit, um die Substratpalette
   zwischen ALD und PVD Prozess zu transferieren, sowie eine zweite
   Beschichtungskammer. Der Auftraggeber wird diese zweite Kammer nach
   Auslieferung mit weiterer Ausstattung versehen, um die voll
   funktionierende Hybridanlage fertigzustellen. Das Hybridsystem soll am
   Ende Einzelschichten aus beiden Prozessen zu einem komplexen
   Mehrschichtsystem zusammenführen können, ohne das Vakuum zu brechen.
   Der ALD Prozess und der automatische Probentransfer werden bei
   Auslieferung voll funktionstüchtig sein.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE92
   Hauptort der Ausführung:
   30419
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Es ist das Ziel, den Atomic Layer Deposition (ALD) Beschichtungsprozess
   mit einem zweiten Schichtwachstumsprozess der PVD-Kategorie (Physical
   Vapor Deposition) zu kombinieren. Zu diesem Zweck solle ein
   vollausgestatteter ALD Prozess, inkl. eines thermischen und
   plasmaaktivierten ALD, in ein Clustertool integriert werden. Zusätzlich
   zur ALD Prozesskammer soll das Clustertool ein Load-Lock-System
   beinhalten, eine automatisierte Transfereinheit, um die Substratpalette
   zwischen ALD und PVD Prozess zu transferieren, sowie eine zweite
   Beschichtungskammer. Der Auftraggeber wird diese zweite Kammer nach
   Auslieferung mit weiterer Ausstattung versehen, um die voll
   funktionierende Hybridanlage fertigzustellen. Das Hybridsystem soll am
   Ende Einzelschichten aus beiden Prozessen zu einem komplexen
   Mehrschichtsystem zusammenführen können, ohne das Vakuum zu brechen.
   Der ALD Prozess und der automatische Probentransfer werden bei
   Auslieferung voll funktionstüchtig sein.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 10
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
   Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
   Projektnummer oder -referenz: Zuwendung aus den Mitteln des
   Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) Nr. ZW 2-80147672
   Vorhaben: Beschaffung einer Clusteranlage
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Eine Firma, die auf diese Ausschreibung hin bieten möchte, muss ein
   erfahrener Hersteller von ALD Beschichtungsanalagen sein. Darüber
   hinaus muss Erfahrung zur Planung und Lieferung von kundenspezifischen
   Vakuumbeschichtungsanlagen vorhanden sein. Der Bewerber ist gebeten,
   Dokumentation zur Verfügung zu stellen, die die eigene Expertise in den
   folgen 6 Punkten nachweist und bestätigt, dass er eine Ausführung wie
   beschrieben ausliefern kann:
   1. ALD Beschichtungsprozess mit den Materialien: SiO2, Ta2O5, HfO2,
   Al2O3, MgF2;
   2. Zusätzliche Variationen des ALD: Plasma ALD und thermisch
   aktiviertes ALD;
   3. Automatisiertes Be- und Entladen einer Beschichtungseinheit sowie
   Abscheidung von Mehrschichtsystemen;
   4. In-situ Schichtdickenkontrolle als Teil des ALD Prozesses;
   5. Erfahrung in Mehrschichtsystemen für optische Anwendungen;
   6. Erfahrung in der Entwicklung von kundenspezifischen und
   automatisierten Beschichtungsanalgen inklusive Transport von
   Trägerpaletten. Die Größe des zu transportierenden Trägers liegt bei
   kreisförmiger Grundform bei 200 mm
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Der Lieferant dieses Clustertools, muss die folgenden Dokumente im
   Lieferumfang zur Verfügung stellen:
    CE Zertifikat,
    Handbuch in deutscher und/oder englischer Sprache,
    dokumentierter E-Check,
    alle notwendigen Dokumente, um die Gefahrenanalyse im Rahmen der
   Arbeitssicherheitsstandards durchzuführen, wenn möglich 2 Monate vor
   Lieferung.
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   Der Auftrag ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern
   vorbehalten, deren Ziel die soziale und berufliche Integration von
   Menschen mit Behinderungen oder von benachteiligten Personen ist
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Nichtoffenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 13/01/2018
   Ortszeit: 16:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   Tag: 17/01/2018
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch, Englisch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 31/03/2018
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Bekanntmachungs-ID: CXP4YM4YL4C
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Amtsgericht Hannover
   Hannover
   Deutschland
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   11/12/2017
References
   1. mailto:l.jensen@lzh.de?subject=TED
   2. http://www.lzh.de/
   3. https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C
   4. https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C
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