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Ausschreibung: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Dokument Nr...: 84690-2018 (ID: 2018022409092106706)
Veröffentlicht: 24.02.2018
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DE-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2018/S 39/2018 84690
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Richtlinie 2014/24/EU
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
über Vergabeportal eVergabe
Hansastr. 27 c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [1]fraunhofer@deutsche-evergabe.de
NUTS-Code: DE212
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [2]http://www.fraunhofer.de
Adresse des Beschafferprofils: [3]http://www.deutsche-evergabe.de/
I.2)Gemeinsame Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[4]http://www.deutsche-evergabe.de/
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[5]http://www.deutsche-evergabe.de/
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschungsgesellschaft e. V.
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Overlay-Messsystem
Referenznummer der Bekanntmachung: E_048_250529 cl-bla FMD
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42990000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Overlay-Messsystem:
Das zu beschaffende Overlay-Messsystem soll die Messung der
Überdeckungsgenauigkeit (Overlay) auf 200 mm und 300 mm Wafern
ermöglichen. Die Messgenauigkeit des Systems muss dabei den
Anforderungen einer DUV-Lithographie (248 nm) gerecht werden.
1. Technische Anforderung: Fähigkeit zur Prozessierung von 200 mm (open
cassette) und 300 mm (FOUP) Wafern; automatisches Handling-System mit
Prealignment des Wafers Recipe-gesteuertes Wafer Alignment via
Pattern-Recognition; Erstellung von Recipes mit beliebiger Anzahl an
Messpunkten mittels einfach handhabbarer Software für die spezifizierte
Anlage gültige und lizensierte Software (OS: Windows 7 oder neuer oder
vergleichbar); SECS-GEM-Schnittstelle mit Remote-Zugriff und
dokumentiertem Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DED21
Hauptort der Ausführung:
01109 Dresden
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Fortsetzung von II.1.4:
Über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES);
Maschinenzustandsmeldung über optische und akustische Signale, alle
notwendigen Sicherheitseinrichtungen vorhanden Rezept-Management und
zeitaufgelöste Aufzeichnung aller Messprozesse und Messergebnisse;
Zugriff zu bzw. Transfer der Messdaten in nicht-proprietären
Datenformat sowie Online- und Offline- Auswertesoftware für z. B.
Messdaten, Statistik, Wafermapping, Analyse, Berechnung
Korrekturfaktoren.
2. Technologische Anforderungen:
Messung der Überdeckungsgenauigkeit an Box-in-Box-Strukturen wie auch
anderen Targets;
Fähigkeit der Messung der Überdeckungsgenauigkeit an Strukturen mit
hoher Topographie;
Zielwert Messgenauigkeit 2 nm;
Zielwert Wiederholgenauigkeit 3 nm.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 6
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Höchstzahl: 8
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:
Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Anzahl der installierten Geräte
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
Optional ist Zubehör anzubieten.
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s.
Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch
den Auftraggeber angefordert).
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
(5) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen,
nicht älter als 3 Jahre;
(6) Nennung der Anzahl der vergleichbar installierten Geräte in der
Halbleiterindustrie in Europa;
(7) Nennung der Anzahl der vergleichbar installierten Geräte in der
Halbleiterindustrie weltweit.
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre
Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten
Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im
Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des
Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks
schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu
verhandelnden Angebote
IV.1.5)Angaben zur Verhandlung
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 26/03/2018
Ortszeit: 23:59
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:
Anforderung Unterlagen erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können
ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter
[6]www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen
über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und
ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte
Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf
Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Villemombler Straße 76
Bonn
53123
Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Heinemannstraße 2
Bonn
53175
Deutschland
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage
nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht
abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein
Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist,
bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf
Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die
Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der
Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf
elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf
10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der
Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des
Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die
Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die
geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis
gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1
GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der
Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in
der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur
Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3
Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der
Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
über Vergabeportal eVergabe
Hansastraße 27c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [7]einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse:[8]http://www.fraunhofer.de
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
22/02/2018
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