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Ausschreibung: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Ilmenau
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 228932-2019 (ID: 2019051709121602647)
Veröffentlicht: 17.05.2019
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  DE-Ilmenau: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
   2019/S 95/2019 228932
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Legal Basis:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
   Max-Planck-Ring 14
   Ilmenau
   98693
   Deutschland
   Telefon: +49 3677-691744
   E-Mail: [1]beschaffung@tu-ilmenau.de
   Fax: +49 3677-691931
   NUTS-Code: DEG0F
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]http://www.tu-ilmenau.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [3]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [4]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825
   Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von
   Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein
   verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang
   zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich
   unter:
   [5]https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=D7551CCCF31A3F1
   171BD76FC82A7FD78.app204?0
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Einrichtung des öffentlichen Rechts
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Bildung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Maskenloser Belichter
   Referenznummer der Bekanntmachung: TU-074/19-201-ZMN
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   38000000
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische
   Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu
   erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten
   UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment
   für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem
   Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu
   beschaffen.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEG0F
   Hauptort der Ausführung:
   TU Ilmenau
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Benötigt wird eine Anlage zur maskenlosen laserbasierten UV-Lithografie
   im Laborbetrieb mit direkter Verwendung von Maskendaten in gängigen
   Formaten (DXF, Gerber, GDSII, CIF) mit sehr hohen Anforderungen
   hinsichtlich Flexibilität, Präzision und Durchsatz. Wichtige Merkmale
   sind die Eignung für Wafer bis 150 mm Durchmesser,
   Sub-Mikrometer-Auflösung und Ausrichtgenauigkeit, automatisches
   Alignment und sehr hoher Durchsatz im Laborbetrieb. Detaillierte
   Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 12
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
    Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE
    Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung 
   zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen
   und Wiederverwenden der EEE).
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
    Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   durch Abgabe der EEE  Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3
   dieser Bekanntmachung  zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum
   Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch
   Abgabe der EEE  Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die
   letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser
   Bekanntmachung  zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst
   zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 25/06/2019
   Ortszeit: 10:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 19/07/2019
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 25/06/2019
   Ortszeit: 10:00
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   Aufträge werden elektronisch erteilt
   Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
   Die Zahlung erfolgt elektronisch
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im
   Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen
   Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für
   Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.
   Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden
   der EEE unter dem Link:[6]https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im
   nächsten Schritt Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer anklicken und dann
   die Option eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE
   ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei
   exportiert/gespeichert werden.
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
   Weimar Platz 4
   Weimar
   99423
   Deutschland
   Telefon: +49 361-37700
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
   Max-Planck-Ring 14
   Ilmenau
   98693
   Deutschland
   Telefon: +49 3677-691744
   E-Mail: [7]beschaffung@tu-ilmenau.de
   Fax: +49 3677-691931
   Internet-Adresse: [8]http://www.tu-ilmenau.de
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   14/05/2019
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   3. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825
   4. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825
   5. https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=D7551CCCF31A3F1171BD76FC82A7FD78.app204?0
   6. https://eee.evergabe-online.de/espd/
   7. mailto:beschaffung@tu-ilmenau.de?subject=TED
   8. http://www.tu-ilmenau.de/
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                The Federal Office of Foreign Trade Information
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