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Ausschreibung: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 231471-2019 (ID: 2019052009125205473)
Veröffentlicht: 20.05.2019
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DE-Frankfurt (Oder): Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2019/S 96/2019 231471
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Legal Basis:
Richtlinie 2014/24/EU
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
IHP GmbH Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
Frankfurt (Oder)
15236
Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359
E-Mail: [1]rohner@ihp-microelectronics.com
Fax: +49 335-5625-25359
NUTS-Code: DE403
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [2]https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[3]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
YYXF/documents
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[4]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
YYXF
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Messplatz um Siliziumwafer optisch 2D und 3D zu charakterisieren
Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2019-048
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Digitalmikroskop,
Laserscanningmikroskop.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403
Hauptort der Ausführung:
IHP GmbH Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Laserscanningmikroskop:
präzises Kombinationsmessgerät bestehend aus Konfokalmessmodus mit
einer definierten Wellenlänge zur nm genauen Oberflächenmessung und
einer Fokusvariationsmessmodus nach Norm zur Analyse großer Bereiche,
Axiale Auflösung: Mindestens 1 nm oder besser,
Laterale Auflösung: Besser als 130 nm,
Fokusvariation nach ISO 25178-6,
Flankenmessung: Mindestens 86,5Grad,
Konfokalmodus: Mittels Laser,
Wellenlänge Laser: Kleiner als 420 nm,
Beleuchtungsmöglichkeiten:
Hellfeld- und Dunkelfeldmikroskopie stufenfrei mischbar für Objektive
für kleine Vergrößerungen von min. 5 bis 10 x. Hellfeldbeleuchtung
stufenfrei dimmbar.
Dynamikbereich Aufnahmesystem: Mindestens 14-BIT Aufnahmemodul für
den Konfokalmodus (kein CCD/CMOS) und 16-BIT HDR Aufnahme für nicht
konfokale Messungen,
Axialer Scanbereich: Mindestens 7 mm,
Stitching: Nahtloses Stitching von mehr als 500 Bildern automatisch
dank motorisiertem Verfahrtisch,
Wiederholgenauigkeit: Mit 5x Objektiv mindestens 500 nm (min. 20 mm
Arbeitsabstand), mit 10x Objektiv mindestens 400 nm (min. 15 mm
Arbeitsabstand), mit 20 x Objektiv 120 nm oder besser (min. 3 mm
Arbeitsabstand), mit 50 x Objektiv 50 nm oder besser,
Objektivrevolver: Motorisiert mit min. 6 Plätzen,
Objektivwechsel: Die Objektive sollen durch den Benutzer vor Ort
wechselbar sein,
Objektive mit der Vergrößerung:
2.5 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
5 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
10 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
20 x,
20 x weitdistanz (min. 10 mm Arbeitsabstand),
50 x,
50 x weitdistanz (mit mindestens 8 mm Arbeitsabstand),
100 x,
100 x weitdistanz (mit mindestens 2 mm Arbeitsabstand),
150 x.
Digitalmikroskop:
2D und 3D Messungen und dokumentation mit einem Mikroskop.,
100 mm x 100 mm grosse Objekttisch mit Motorbetrieb in X,Y,Z Achsen,
hochempfindliche und schnelle Kamera mit 50 Bilder pro Sekunde,
multisichtsystem- Hochauflösende Betrachtung aus jedem beliebigen
Winkel bis 90 Grad Neigungswinkel,
Artefaktfreie 3D aus jedem Winkel bis 90Grad- Aufnahmen auch bei
schwierigen Lichtverhältnissen,
Beleuchtung aus unterschiedlichen Winkeln. Beliebigen
Beleuchtungswinkel einstellen, auch am bereits gespeicherten Bild,
Mobil und ohne Stativ einsetzbar. Das lange Kamerakabel ermöglicht
auch Aufnahmen abseits des Stativs,
Tiefenscharfe Aufnahmen bei schwierigen Lichtverhältnissen ohne
Pixelverzerrung auch bei hohen Vergrößerungen und aus einem Winkel
heraus,
Nahtstellenfreies vollautomatisches Zusammensetzen von mehreren
Bildern in 2D und 3D (Stitching) 20.000 x 20.000 Pixel,
automatische Ein-Klick-Messung: Messungen sind vom Anwender nicht zu
beeinflussen, zusätzlich eine Zeitersparnis da mit einem Klick mehrere
Messungen (Vorlagenspeicherung),
umfassende Messmöglichkeiten Flächenmessungen, Automatische
Flächenmessung/Zählung (Partikelanalyse), Kalibrierung per Knopfdruck,
Seitenlichtadapter zur variablen Einstellung des Lichteinfallwinkels
im Dunkelfeld,
Steuerung für Digitalmikroskop (Sprache: Englisch):
Konsole: X,Y,Z verstellung,
lebenslanger Support vor Ort (Inbetriebnahme; Kalibrierung;
Schulungen; Service),
Objektive:
0.1 x bis 50 x (min. 80 mm Arbeitsabstand),
20 x bis 2 000 x (min. 10 mm Arbeitsabstand),
500 x bis 5 000 x (min. 4 mm Arbeitsabstand).
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem
zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim
Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in
Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit
den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
Referenzgeber,
Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer,
Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung,
Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 20/06/2019
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 19/08/2019
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 20/06/2019
Ortszeit: 12:00
Ort:
Frankfurt (Oder)
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
[5]http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform
Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen
dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in
den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum
Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das
heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die
Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir
Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren
und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren
einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das
Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung
unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar
eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYXF
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft
und Europaangelegenheiten
Heinrich-Mann-Allee 107
Potsdam
14473
Deutschland
Telefon: +49 331 / 866-1719
Fax: +49 331 / 866-1652
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
IHP GmbH Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
Frankfurt (Oder)
15236
Deutschland
Telefon: +49 335-5625-359
E-Mail: [6]rohner@ihp-microelectronics.com
Fax: +49 335-5625-25359
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
IHP GmbH Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
Frankfurt (Oder)
15236
Deutschland
Telefon: +49 335-5625-359
E-Mail: [7]rohner@ihp-microelectronics.com
Fax: +49 335-5625-25359
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
15/05/2019
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1. mailto:rohner@ihp-microelectronics.com?subject=TED
2. https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html
3. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYXF/documents
4. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYXF
5. http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/
6. mailto:rohner@ihp-microelectronics.com?subject=TED
7. mailto:rohner@ihp-microelectronics.com?subject=TED
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