Titel :
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DEU-München - Deutschland Halbleiter Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf- Clustertool -PR847550-2270-W
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2024121801380482556 / 775709-2024
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Veröffentlicht :
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18.12.2024
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Anforderung der Unterlagen bis :
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31.10.2025
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Angebotsabgabe bis :
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17.01.2025
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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31712330 - Halbleiter
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DEU-München: Deutschland Halbleiter Plasmaoxidationsmodul (200mm,
CMOS) zur Anbringung Aufdampf- Clustertool -PR847550-2270-W
2024/S 246/2024 775709
Deutschland Halbleiter Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-
Clustertool - PR847550-2270-W
OJ S 246/2024 18/12/2024
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool -
PR847550-2270-W
Beschreibung: Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool
Kennung des Verfahrens: c78fceab-7b8b-44cc-b03c-e01ddaece025
Interne Kennung: PR847550-2270-W
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
2.1.2. Erfüllungsort
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6. Ausschlussgründe
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Korruption:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrugsbekämpfung:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Zahlungsunfähigkeit:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Entrichtung von Steuern:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
5. Los
5.1. Los: LOT-0000
Titel: Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool -
PR847550-2270-W
Beschreibung: 1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-
Clustertool Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des
Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al)
ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine
Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium
unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter
Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in
Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster
können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben
damit natürlicher Oxidation auszusetzen. Optionen: 6.3. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß
üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für
einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen
Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.4. Als
Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.8. Als Option sollen
zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3
Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum,
Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt
aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 17/12/2024
Enddatum der Laufzeit: 31/10/2025
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: FMD-QNC Investprojekt
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Kriterium:
Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Kriterium:
Art: Sonstiges
Beschreibung: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.
de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-193cfc09180-7989fc43cd0a3cd8
5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: TECHNISCHE AUSFÜHRUNG
Beschreibung: TECHNISCHE AUSFÜHRUNG
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: LIEFERFRIST
Beschreibung: LIEFERFRIST
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 15
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer
/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-193cfc09180-
7989fc43cd0a3cd8&
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Adresse für die Einreichung: https://vergabe.fraunhofer.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch,
Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 17/01/2025 09:00:00 (UTC+1)
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 60 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 17/01/2025 09:00:00 (UTC+1)
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind
diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter
Ausschreibungsbedingungen aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu
bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des
Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit
mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht
abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag
ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den
Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs.
1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der
Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder
per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die
Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den
Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit
eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße
10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3
Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung
erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten
Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden
(§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur
Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160
Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-
Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts
des BMI)
8. Organisationen
8.1. ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49891205-0
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Profil des Erwerbers: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1. ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1. ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.
V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49 89 1205-0
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1. ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1. Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c22f1c46-4e49-4a68-9656-36d5e5070445 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 17/12/2024 12:56:37 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
11.2. Informationen zur Veröffentlichung
ABl. S Nummer der Ausgabe: 246/2024
Datum der Veröffentlichung: 18/12/2024
Referenzen:
https://vergabe.fraunhofer.de
https://vergabe.fraunhofer.de/
https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/
https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-193cfc09180-7989fc43c
d0a3cd8&
https://www.fraunhofer.de
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202412/ausschreibung-775709-2024-DEU.txt
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